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TergeoPro等離子系統(tǒng)可處理8英寸基片清洗機(jī)的應(yīng)用類似于較小的 Tergeo 等離子系統(tǒng)，不同之處在于它可以接受更大的樣品。

遠(yuǎn)程等離子清潔的原理 遠(yuǎn)程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上，控制器向遠(yuǎn)程離子源提供射頻能量。射頻電磁場(chǎng)能激發(fā)等離子體，分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基，活性基會(huì)擴(kuò)散到下游的真空腔室，并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī)可同時(shí)清潔真空系統(tǒng)和樣品。

美國(guó)PIE出品的EM遠(yuǎn)程等離子清潔儀，廣泛用于SEM掃描電鏡,FIB聚焦離子束雙束電鏡,TEM透射電鏡,XPS_X射線光電子能譜分析儀,ALD原子層沉積系統(tǒng),CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系統(tǒng)，可同時(shí)清潔真空腔室和樣品！

品牌：PIE 型號(hào)：Tergeo EM Tergeo EM型樣品桿清潔等離子清潔儀 *的雙清洗模式（immersion和downstream）能夠處理各種不同的樣品，從嚴(yán)重污染的電子光學(xué)孔徑光闌到各種脆弱易損樣品，如石墨烯、碳納米管、類金剛石碳膜以及多孔碳支持膜銅網(wǎng)上的TEM樣品。石英樣品托板上的孔洞可以安裝標(biāo)準(zhǔn)SEM樣品托。特別設(shè)計(jì)的適配器可以清潔不同廠家的TEM樣品桿。

專為去除SEM & TEM樣品的碳?xì)湮廴径O(shè)計(jì)。*的雙清洗模式（immersion和downstream）能夠處理各種不同的樣品，從嚴(yán)重污染的電子光學(xué)孔徑光闌到各種脆弱

Tergeo EM型SEM及TEM樣品/樣品桿清潔等離子清潔儀 美國(guó)PIE Scientific專注研發(fā)*實(shí)驗(yàn)室用等離子儀器，用于SEM/TEM樣品清潔、光刻膠蝕刻、等離子體增強(qiáng)沉積、表面處理與活化。我們的宗旨是：將半導(dǎo)體和核工程研究中開發(fā)的等離子技術(shù)集成到經(jīng)濟(jì)實(shí)用的實(shí)驗(yàn)室用等離子儀器。