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當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  光刻膠  >  Futurrex光刻膠  >  PR1系列Futurrex紫外正性光刻膠

Futurrex紫外正性光刻膠

簡要描述:Futurrex 成立于1985年,是美國光刻膠及輔助化學(xué)品制造商。產(chǎn)品以技術(shù)著稱,從2000年至今年均增長率為33%。主要客戶有:Ti、半導(dǎo)體、HP、SHARP、3M、Universal Display、ETC、LG、Qualcomm (高通)等。Futurrex長期與Intel實驗室合作,產(chǎn)品被廣泛收錄進美國各大學(xué)半導(dǎo)體教程,是各大研究機構(gòu)產(chǎn)品。

  • 產(chǎn)品型號:PR1系列
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-07-01
  • 訪  問  量:3375

詳細介紹

Futurrex產(chǎn)品優(yōu)勢:

1、Futurrex光刻膠黏附性好,無需使用增粘劑(HMDS

2、負性光刻膠常溫下可保存3

3、150度烘烤,縮短了烘烤時間

4、單次旋涂能夠達到100um膜厚

5、顯影速率快,100微米的膜厚,僅需6~8分鐘

 

正性光刻膠

A、 粘度增強正膠(PR1系列)

應(yīng)用:蝕刻、反應(yīng)離子刻蝕、離子注入、電鍍;

特征:PR1系列正膠耐熱溫度=110℃;

 

品牌

產(chǎn)地

型號

厚度

耐熱溫度

應(yīng)用

Futurrex

美國

PR1-500A

0.4μm0.9μm

耐熱溫度=110

濕刻、反應(yīng)離子束刻蝕、離子植入、電鍍

PR1-1000A

0.7μm2.0μm

PR1-1500A

1.3μm3.0μm

PR1-2000A

1.7μm~4.0μm

PR1-4000A

3.7μm~10.0μm

PR1-12000A

10.0μm~25.0μm

Micro Resist

德國

ma-P 1200系列

0.550μm膠厚

非常適合作為刻蝕掩模,*的抗干刻、濕刻性能;
優(yōu)異的電鍍性能(酸和堿性鍍液中*的穩(wěn)定性)

光刻膠圖案良好的熱穩(wěn)定性;堿性水溶液下顯影;
寬帶、gi線曝光

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